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电子特种气体,关于电子特种气体的所有信息

电子气体是哪些气体 什么是电子特种气体

气体工业名词,半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气,高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延,掺杂

2022-06-13 13:42

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